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中原大學
2001-06-19
Method of fabricating a self-aligned contact
Chien-Sheng Hsieh;Wei-Ray Lin;Fu-Liang Yang;Erik S. Jeng;Bor-Ru Sheu
中原大學
2001-06-12
Method for producing multi-level contacts
Bi-Ling Chen;Erik S. Jeng;Shih-Ming Chang
中原大學
2001-05-29
Method of self-aligned contact hole etching by fluorine-containing discharges
Erik S. Jeng;Bi-Ling Chen
中原大學
2001-05-22
Method for forming a semiconductor device
Erik S. Jeng;Tzu-Shih Yen;Chi-San Wu;Jong-Bor Wang
中原大學
2001-04-24
Anti-reflection oxynitride film for polysilicon substrates
Liang-Gi Yao;John Chin-Hsiang Lin;Hua-Tai Lin;Erik S. Jeng;Hsiao-Chin Tuan
中原大學
2001-02-06
Method of fabricating a capacitor under bit line DRAM structure using contact hole liners
Erik S. Jeng;Bi-Ling Chen;Wei-Ray Lin;Yu-Chun Ho;Ming-Hong Kuo
中原大學
2001-01-30
Formation of finely controlled shallow trench isolation for ULSI process
Fu-Liang Yang;Bih-Tiao Lin;Wei-Ray Lin;Erik S. Jeng
中原大學
2001-01-23
DRAM using oxide plug in bitline contacts during fabrication
Erik S. Jeng
中原大學
2001-01-02
Method for fabricating crown-shaped capacitor structures
Erik S. Jeng;Ing-Ruey Liaw;Rong-Wu Chien
中原大學
2000-12-12
Method for fabricating borderless and self-aligned polysilicon and metal contact landing plugs for multilevel interconnections
Erik S. Jeng;Bi-Ling Chen;Chien-Sheng Hsieh
中原大學
2000-11-21
Method of forming a cob dram by using self-aligned node and bit line contact plug
Hung-Yi Luo;Erik S. Jeng;Yue-Feng Chen
中原大學
2000-10-31
Method for eliminating CMP induced microscratches
Fu-Liang Yang;Bih-Tiao Lin;Tzu-Shih Yen;Bi-Ling Chen;Erik S. Jeng
中原大學
2000-10-24
Method for fabricating capacitor-over-bit-line dynamic random access memory (DRAM) using self-aligned contact etching technology
Erik S. Jeng;Chun-Yao Chen;Ing-Ruey Liaw;Janmye Sung
中原大學
2000-10-24
Method to fabricate capacitor structures with very narrow features using silyated photoresist
Tzu-Shih Yen;Erik S. Jeng
中原大學
2000-09-26
Method for fabricating ultra-small interconnections using simplified patterns and sidewall contact plugs
Erik S. Jeng;Tzu-Shih Yen;Hung-Yi Luo
中原大學
2000-08-15
Method of forming a contact hole in a semiconductor device
Erik S. Jeng;Bi-Ling Chen;Hao-Chieh Liu
中原大學
2000-06-27
Method for fabricating interconnection and capacitors of a DRAM using a simple geometry active area, self-aligned etching, and polysilicon plugs
Erik S. Jeng
中原大學
2000-06-27
Method for forming multi-level contacts using a H-containing fluorocarbon chemistry
Bi-Ling Chen;Erik S. Jeng;Hao-Chieh Liu
中原大學
2000-06-13
Method for forming multi-level contacts
Hao-Chieh Liu;Erik S. Jeng;Bi-Ling Chen;Wan-Yih Lien
中原大學
2000-06-06
Method for simultaneously fabricating a DRAM capacitor and metal interconnections
Fu-Liang Yang;Erik S. Jeng;Bih-Tiao Lin;I-Ping Lee
中原大學
2000-05-09
Method to fabricate isolation by combining locos and shallow trench isolation for ULSI technology
Fu-Liang Yang;Wei-Ray Lin;Ming-Hong Kuo;Erik S. Jeng
中原大學
2000-05-02
Method for etching a metal layer with dimensional control
I-Ping Lee;Erik S. Jeng;Chyei-Jer Hsieh
中原大學
2000-03-14
Method for improving patterning of a conductive layer in an integrated circuit
Hua-Tai Lin;Erik S. Jeng;Liang-Gi Yao
中原大學
2000-03-14
Method of fabricating contact holes in high density integrated circuits using polysilicon landing plug and self-aligned etching processes
Erik S. Jeng;Yue-Feng Chen;Bi-Ling Chen
中原大學
2000-03-07
Method of fabricating sidewall spacers for a self-aligned contact hole
Erik S. Jeng;Hung-Yi Luo;Yue-Feng Chen;Ming-Horn Tsai
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