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機構	日期	題名	作者
國立交通大學	2014-12-12T02:18:10Z	在化學機械研磨製程中機械性質之探討與分析	康立杰; Kang, Lee-Chieh; 秦繼華; Chin, Jih-Hua
國立成功大學	1999-05	A comparative study on the roles of velocity in the material removal rate during chemical mechanical polishing	Tseng, Wei-Tsu; Chin, Jyh-Hwa; Kang, Lee-Chieh

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